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IPEX840/860系列工业级准分子365bet足球直播_亚洲365bet_如何登录365bet器
IPEX840/860 Series Industrial Excimer Lasers
商品货号:ECS002675
商品品牌:LMI
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详细介绍

IPEXTM 840/860系列工业级准分子365bet足球直播_亚洲365bet_如何登录365bet器

应用于电子、通信、半导体、医疗设备和脉冲365bet足球直播_亚洲365bet_如何登录365bet沉积的工业级准分子365bet足球直播_亚洲365bet_如何登录365bet器

a 采用ICONTM技术,延长气体寿命,降低成本

a EasyClean自动密封镜片功能,可在清洗更换镜片时密封365bet足球直播_亚洲365bet_如何登录365bet腔

a 可选高亮度光学元件,来满足要求小发散角和长相干长度的应用

a 高稳定镜片支架可获得极高的光束指向精度

a 易于集成到工业加工系统

IPEX-840/860系列准分子365bet足球直播_亚洲365bet_如何登录365bet器性能优越、可靠性高,广泛适用于使用要求高、生产负荷重的各种工业制造领域,如电子、半导体和医疗设备制备以及脉冲365bet足球直播_亚洲365bet_如何登录365bet沉积(PLD)等应用。由于采用了ICONTM(镍基集成陶瓷)技术,IPEX系列365bet足球直播_亚洲365bet_如何登录365bet器既降低了运行成本,又能提供优秀的光学性能。对于需要长工作光路和小发散角(365bet足球直播_亚洲365bet_如何登录365bet雷达),或需要长相干长度(FBG刻写)以及需要改进聚焦性能的场合,可以选择高亮度(非稳腔)镜片。IPEX-840/860系列365bet足球直播_亚洲365bet_如何登录365bet器具有易于使用、便于维护和运行经济的特点,它将高精密准分子365bet足球直播_亚洲365bet_如何登录365bet加工、低运行成本和高运行时间很好地结合在一起,是一款不可多得的优秀的准分子365bet足球直播_亚洲365bet_如何登录365bet器。

特点

a ICON365bet足球直播_亚洲365bet_如何登录365bet腔

a EasyClean自动密封镜片功能

a 先进的镜片支架

a 专利的腔镜固定技术

a 能量稳定控制

a 预电离

a 内部气体过滤设备

优点

a 气体寿命长,更换时间间隔长,运行成本低

a 简化了光路维护,填充气体和钝化效果保持长久

a 200μrad指向稳定性

a 镜片清洁重装后不需要重新调节

a 快速、精确、稳定的能量控制,可选内、外触发和Burst工作模式

a 优异的能量稳定性,≤1.5% (KrF)

a 去除微粒,保持主镜片洁净

规格

365bet足球直播_亚洲365bet_如何登录365bet器规格参数详见产品手册或者咨询我司销售。

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